高灵敏度： 采用高NA，低像差的高性能成像系统
工艺适应性：宽光谱光源且可加偏振，对FinFET制程具有良好的工艺适应性
极佳CoO：超精高速运动平台配合高性能量测算法
用户友好：自动量测模式选择，自动处方生成，节约处方生成时间
工厂自动化：支持SECS/GEM SEMI标准，全面满足工厂自动化需求
微信公众号
合肥地址：安徽省合肥市高新区华佗巷469号1号楼
上海地址：中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路899号11栋
合肥电话：0551-65116087
上海电话：021-50935077
Email: yuweitek@cmmdn.cn